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晶圓片在線(xiàn)面掃檢測儀

  • 更新時(shí)間:  2024-03-04
  • 產(chǎn)品型號:  MDPinline
  • 簡(jiǎn)單描述
  • 晶圓片在線(xiàn)面掃檢測儀是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過(guò)工廠(chǎng)安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時(shí)間內,就可以“動(dòng)態(tài)"測量出晶圓圖。
詳細介紹

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過(guò)工廠(chǎng)安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時(shí)間內,就可以“動(dòng)態(tài)”測量出晶圓圖。

優(yōu)勢介紹:一秒一片!可集成在生產(chǎn)線(xiàn)上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試,在不到一秒內就能形成單個(gè)硅片的二維圖像。

    該儀器本身不使用機械運動(dòng)部件,因此在連續操作下也非??煽?。它為每個(gè)晶圓片提供完整的拓撲結構,這為提高生產(chǎn)線(xiàn)的成本效益和效率提供了新的途徑,而這些都是迄今為止*的。例如,在不到3個(gè)小時(shí)的時(shí)間內,對10000個(gè)晶圓片的拓撲結構進(jìn)行自動(dòng)統計評估,結果可以顯示出晶體生長(cháng)爐的性能和材料質(zhì)量的各種細節。 

        實(shí)時(shí)的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產(chǎn)過(guò)程中,MDPinline可以立即檢測到某個(gè)處理步驟的任何故障,從而使產(chǎn)品達到的性能。 

  

 

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時(shí)間內,可對一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數:載流子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙線(xiàn)掃描)。

◆在非常短的時(shí)間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠(chǎng)控制過(guò)程和生產(chǎn)。

◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量,以及識別晶圓片層面的結晶問(wèn)題,例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴散過(guò)程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術(shù)參數

 

樣品厚度

 

100 μm up to 1 mm

 

樣品尺寸

 

在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18”

 

電阻率

 

0.2 - 103 Ohm cm

 

傳導類(lèi)型

 

p, n

 

材質(zhì)

 

硅晶圓,部分或*加工的晶圓片,復合半導體等 

 

測量性能

 

少數載流子壽命(穩態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的)

 

測量位置

 

默認2.8 mm, 其它可選

 

檢測時(shí)間

 

獲得完整的一張晶圓圖時(shí)間小于1秒

 

尺寸

 

400 x 400 x 450 mm,重量:29 kg

 

電源

 

24 V DC, 4 A

其它細節

· 允許單片控制

· 參數自動(dòng)設置,預定義的排序菜單

· 多達15個(gè)質(zhì)量等級的晶圓片自動(dòng)分揀

· 監控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線(xiàn)

 

 


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