MDPlinescan在線(xiàn)少子壽命測試儀在眾多的少子壽命測量方法中,MDP(微波檢測光電導率)采用改進(jìn)的少子壽命檢測技術(shù),是微波檢測光電導衰減法檢測儀中常用的儀器之一,少子壽命測試儀原理從載流子輸運原理出發(fā),建立廣義速率方程和偏微分方程系統。擁有*的靈敏度和分辨率,很大程度提升在線(xiàn)檢測的速度和質(zhì)量,快速出具少子壽命測試的實(shí)驗報告。
MDPlinescan被設計成一個(gè)易于集成的OEM設備,可以集成到各種自動(dòng)化檢測線(xiàn)。關(guān)鍵的是在傳送過(guò)程中進(jìn)行少子壽命掃描。樣品通常由測量頭下面的傳送帶或機器人系統攜帶。應用實(shí)例包括從晶磚到晶圓檢測,單晶少子壽命測試、多晶少子壽命測試,每塊晶圓的測量速度小于一秒。電池生產(chǎn)線(xiàn)上的來(lái)料質(zhì)量檢查是經(jīng)典的通用案例,也用于鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查,還有許多其他特殊的應用的可能性。易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。
MDPlinescan W
包括一個(gè)額外的電阻率測量選項。
MDPlinescan在線(xiàn)少子壽命測試儀優(yōu)點(diǎn):
◇ 在µ-PCD或穩態(tài)激勵條件下線(xiàn)掃描少數載流子壽命和電阻率是這個(gè)小型設備的重要功能;
◇ OEM設備可以集成到多晶或單晶硅片的生產(chǎn)線(xiàn)上,在不同的制備階段,直至器件、磚塊或晶錠。
◇ 小巧的尺寸和標準的自動(dòng)化接口使其易于集成。重點(diǎn)是測量結果的長(cháng)期可靠性和精確性。
示范性線(xiàn)狀掃描圖
細節:
◇ 允許單晶圓片調查
◇ 不同的晶圓級有不同的配方
◇ 監控物料、工藝質(zhì)量和穩定性
技術(shù)規格:
樣品 | 多種尺寸的多晶或單晶晶片,如156mm×156mm、晶磚、電池片等 |
樣品尺寸 | 50 x 50 mm2以上 |
電阻率 | 0.2 - 103Ω·cm |
電導類(lèi)型 | P,N |
樣品類(lèi)型 | 硅片、部分或全部加工的硅片、化合物半導體及更多的產(chǎn)品 |
可測量的特性 | 少數載流子壽命 |
硬件接口 | 以太網(wǎng) |
尺寸規格 | 體積:174 x 107 x 205mm;重量:3公斤 |
電源 | 24 V DC, 2 A |
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