晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Ingot XRD - 晶錠X射線(xiàn)定向儀有著(zhù)*的XRD系統,用于單晶晶錠的自動(dòng)定向、傾斜和對準研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Omega/Theta XRD- 定制的樣品架用于微小圓柱體、大型晶鑄或立方體晶體定向的夾具
Omega/Theta XRD- 搖擺曲線(xiàn)測量意味著(zhù)在Theta-scan模式下進(jìn)行測量,這需要一個(gè)測角儀。一個(gè)雙晶體被帶入主光束路徑,以減少光譜寬度和發(fā)散度。然而,其副作用是強烈的強度降低。
Theta XRD晶錠粘接轉移技術(shù)(堆垛 stacking),晶體(如SiC的晶錠)。這些需要在線(xiàn)切過(guò)程之前進(jìn)行定向對準。Freiberg儀器公司提供了一個(gè)方便的支架系統,使用Omega-scan對準晶錠。整個(gè)堆垛被轉移到線(xiàn)鋸。平行的鋸切可極大節省時(shí)間,極大提升生產(chǎn)效率,提高制造良率。
Omega/Theta XRD Mapping面掃功能掃臺允許使用受控的網(wǎng)格模式來(lái)探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉盤(pán)頂部容納額外的XY定位平臺。樣品表面可以根據用戶(hù)定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線(xiàn)光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。
Omega/Theta XRD - X射線(xiàn)晶體定向儀用于超快速的晶體定向、生產(chǎn)中的晶體排列、質(zhì)量控制、搖擺曲線(xiàn)測量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
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